MEDTEC Online

MEMS半導体製造技術を用いた超小型次世代光電子増倍管

MEMS半導体製造技術を用いた超小型次世代光電子増倍管

浜松ホトニクス株式会社は、半導体製造技術により量産対応が可能で、従来品に比べ体積を約7分の1、質量を約9分の1と超小型にした次世代光電子増倍管μPMT(マイクロピーエムティー)を国内外の分析・計測機器メーカー向けにサンプル出荷する。これにより、個人レベルで使用する高性能な計測機器の開発が可能になり、医療用検体検査機器や環境測定機器などさまざまな分野への応用が期待される。

本製品は、可視域に感度を持つバイアルカリ光電面で、有効面1mm×3mm、量子効率26%(最高感度波長)、増倍率100万倍以上、タテ13mm、ヨコ10mm、厚さ2mm、質量0.5gのμPMTを内蔵したアッセンブリ「H12400-00-01」。μPMTに電圧分割(デバイダ)回路を組み合わせているため、駆動用高圧電源を接続することで動作する。また、このμPMTは、顧客からの機器設計の要望に応じて、組み込みに適した小型化、マルチチャンネル化など、形状のカスタマイズにも対応するという。

μPMTは、半導体製造技術を用いて生産され、製造設備を拡充すれば、これまでにない数量の量産対応が可能になる。さらに、小型、軽量で衝撃に強いため、ポケットに入る高性能な携帯型分析機器などの開発に最適だ。これらが実現すれば、大病院などで行っていた検体検査が、開業医や救急車、さらには家庭でも可能になり、対処治療から疾病予防、心身の健康増進までが実現する可能性がある。また、水質・大気汚染の計測など環境分野などで、地域や個人レベルで有害物質などの同定が可能になると期待される。

 

浜松ホトニクス株式会社

静岡県浜松市

http://jp.hamamatsu.com

カテゴリー: